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3D 表面形狀測量系統(tǒng)

3D 表面形狀測量系統(tǒng)

產(chǎn)品型號： Profilm 3D

所屬分類：面包體積測定

產(chǎn)品時間：2024-09-10

簡要描述：日本filmetrics 3D 表面形狀測量系統(tǒng)Profilm 3D
它是一個使用白光干涉技術(shù)的系統(tǒng)，可以無接觸地測量包括臺階和粗糙度在內(nèi)的三維形狀。
Profilm 3D 適用于測量小樣品，涵蓋了測量 3D 形狀所需的所有功能，并且比傳統(tǒng)產(chǎn)品更緊湊、更便宜。

詳細說明：

日本filmetrics 3D 表面形狀測量系統(tǒng)Profilm 3D

它是一個使用白光干涉技術(shù)的系統(tǒng)，可以無接觸地測量包括臺階和粗糙度在內(nèi)的三維形狀。
Profilm 3D 適用于測量小樣品，涵蓋了測量 3D 形狀所需的所有功能，并且比傳統(tǒng)產(chǎn)品更緊湊、更便宜。
各種測量模式，包括適合高精度測量微米級臺階和形狀的垂直掃描干涉測量法 (WLI) 和適合測量納米級形狀和粗糙度的相移干涉測量法 (PSI)。包括標準步驟樣品在內(nèi)的一切都是標準設(shè)備，包括用于放大物鏡的左輪、自動載物臺以及便于操作、分析和管理測量數(shù)據(jù)的軟件。

主要特點

  • 低價！
    在配備所有必要功能的同時實現(xiàn)低價
  • 納米級高分辨率
    采用相移干涉法實現(xiàn)高分辨率
  • 全標準設(shè)備
    XY自動載物臺，手動左輪，自動光強調(diào)節(jié)，自動對焦功能
  • 緊湊的外殼
    主體的占地面積為 30 x 30 cm 的緊湊設(shè)計。
  • 配備 WLI 和 PSI 兩種測量模式 一臺設(shè)備即可
    測量臺階測量和粗糙度測量
  • 操作
    簡單 基本操作只是簡單的鼠標操作
  • 符合 ISO 標準的粗糙度測量符合
    國際標準 ISO25178
  • 可擴展性
    多種物鏡選擇，數(shù)據(jù)拼接功能

日本filmetrics 3D 表面形狀測量系統(tǒng)Profilm 3D

主要應(yīng)用

半導(dǎo)體晶圓凸塊、CMP焊盤等
醫(yī)療領(lǐng)域注射針、人工關(guān)節(jié)、支架等
安裝板銅線、凸點、透鏡等

測量規(guī)格?

 垂直掃描白光干涉測量法 (WLI)相移干涉測量 (PSI)
測量范圍50 納米 – 10 毫米0 – 3 微米
準確性0.7%——
再現(xiàn)性0.1%——
反射范圍0.05% – 100%0.05% – 100%


設(shè)備規(guī)格

XY自動載物臺100mm x 100mm
Z軸驅(qū)動范圍100mm
壓電驅(qū)動范圍500微米
掃描速度12微米/秒
相機2592 x 1944（500 萬像素）
體重15公斤
 


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