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Nanotech簡易型膜厚測(cè)試儀Autocrater工作原理分析
首先,滴下金剛石漿料,并用旋轉(zhuǎn)的鋼球拋光樣品表面。 | 接下來,觀察創(chuàng)建的拋光痕跡并 測(cè)量上圖中 X 和 Y 之間的距離。 |
根據(jù)測(cè)量的長度 X 和 Y 以及用于拋光的球的半徑,根據(jù)上式計(jì)算膜厚度。 |
●規(guī)格
◆軸轉(zhuǎn)速:100~3,000rpm
◆可設(shè)定旋轉(zhuǎn)時(shí)間:1秒~60分鐘
◆最大樣品尺寸:φ40mm
*可選配亞克力蓋。
Autocrater可以通過用旋轉(zhuǎn)的鋼球拋光樣品并使用光學(xué)顯微鏡測(cè)量拋光痕跡的長度來測(cè)量薄膜厚度。
■無需樣品制備
無需進(jìn)行切割、拋光或樹脂嵌入等樣品制備即可創(chuàng)建橫截面。
可以按原樣測(cè)量沉積的樣品。
■可評(píng)估多層膜
各層的膜厚可以通過化學(xué)處理等改變膜的組成作為色調(diào)的差異來評(píng)價(jià)。
■應(yīng)用實(shí)例
TiN、CrN、TiAlN、TiCN 等、DLC、電鍍、這些的多層膜
本試驗(yàn)機(jī)根據(jù)磨痕長度測(cè)量結(jié)果,采用ISO20423《弧坑磨削法測(cè)定涂層厚度》中規(guī)定的計(jì)算方法計(jì)算涂層厚度。此外,為了用該測(cè)試儀測(cè)量薄膜厚度,您將需要一個(gè)單獨(dú)的顯微鏡來測(cè)量拋光痕跡的長度。
金剛石漿料和球
日本球SUJ2材質(zhì) | φ20mm |
日本球SUJ2材質(zhì) | φ30mm |
金剛石漿料 | 粒徑1.0μm(100cc) |