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產(chǎn)品中心

Product center

asuzac多孔卡盤介紹

發(fā)布時間：2023-08-22　點擊量：632

asuzac多孔卡盤介紹

這是一種由細孔組成的多孔陶瓷卡盤。
在多孔陶瓷出現(xiàn)之前，人們制作了細孔來處理薄工件，但輕微的凹痕會損壞薄膜和超薄晶圓的電路，使其在越來越多的情況下無法使用。通過使用多孔陶瓷對其進行了改進，并且有更多機會在保持薄膜和晶圓方面發(fā)揮積極作用。

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目的/應(yīng)用

  • 多孔小吸墊

    多孔小吸墊

  • 晶圓卡盤

    晶圓卡盤

  • 多孔大吸附級

    多孔大吸附級

  • 吸附夾頭

    夾頭


由于它是由細孔組成的多孔體，因此
適合吸附薄板厚度和薄膜狀工件。

由于它是由細孔組成的多孔體，因此適合吸附薄板厚度和薄膜狀工件。

吸附部分“多孔氧化鋁陶瓷：AZPW-40"
外圍部分“致密氧化鋁陶瓷：AR-99.6"

陶瓷可以承受高溫環(huán)境，不能與多孔樹脂一起使用。
我們制造與工件的形狀和材料、要安裝的設(shè)備及其使用環(huán)境相匹配的定制產(chǎn)品。
我們可應(yīng)對尺寸、形狀、基材等各種規(guī)格。
由于是由一件產(chǎn)品制造而成，因此可以用作原型和各種工件的原始專用卡盤！

還可根據(jù)目的和應(yīng)用提供材料和尺寸。

  • 黑夾頭

    黑色真空吸盤

    吸附部分“黑色多孔氧化鋁陶瓷：AZPWB40"
    外圍部分“黑色致密氧化鋁陶瓷：ARB99.6"

    它具有抑制光反射的黑色吸附表面。
    ?光學(xué)檢查夾具用
    ?污垢不明顯

  • 集成卡盤

    集成卡盤

    吸附部分“多孔SiC陶瓷：AZPS40"
    外圍部分“致密SiC陶瓷：ASiC"

    ?由于不使用粘合劑，因此具有優(yōu)異的耐熱性（600°C（空氣））和耐化學(xué)性。
    ?吸附部和主體均為SiC接合品，因此導(dǎo)熱性良好（170.0W/(m·K)）。
    ?側(cè)面加工有吸氣口（Rc1/8）。