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超小型金屬鍍膜設(shè)備MSP MINI的特點
一鍵自動鍍膜。沒有麻煩的操作。高性價比機器。它是MSP-1S的弟弟。
使用小目標(φ30mm)。實現(xiàn)低運行成本。Au 靶材作為標準配置。展示了其在臺式掃描電鏡預(yù)處理方面的能力。
可選的靶Ag膜具有優(yōu)異的光澤度,便于光學(xué)顯微鏡觀察透明材料表面。
概述
本設(shè)備是一種帶有磁控靶的金屬鍍膜設(shè)備。用光學(xué)顯微鏡觀察透明材料的表面(Ag 靶材)或用電子顯微鏡(Au/Ag 靶材)將導(dǎo)電膜應(yīng)用于少量樣品時使用。
特點
★MSP-mini是桌上SEM觀察·光學(xué)顯微鏡用離子濺射成膜裝置。
★為了將小面積的試樣涂布時的浪費最小化,小面積靶(φ30mm)。
★樣品臺是直接放置滑動玻璃的平面樣品臺。
★低電壓涂層,即使是敏感的樣品也幾乎沒有樣品損傷。
★用1個按鈕全自動進行排氣、涂層、泄漏。
★目標金屬是金(Au)標準??蛇x的銀。
★排氣系統(tǒng)采用外置RP5升/min。
★使用輔助試料臺(可選),可提高涂布率,提高效率可以成膜。