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光譜干涉儀技術在薄膜測厚儀上的運用

發(fā)布時間:2022-02-18 點擊量:712

光譜干涉儀技術在薄膜測厚儀上的運用

適用于光學薄膜和透明涂膜

模型FOS
測量方法非接觸式/光譜干涉儀
測量對象電子、光學用透明平滑膜、多層膜
測量原理光譜干涉儀

產品特點
  • 實現高測量重復性(± 0.01 μm 或更小,取決于對象和測量條件)

  • 不易受溫度變化的影響

  • 可以制造用于研究和檢查的離線型和制造過程中使用的在線型。

  • 反射型允許從薄膜的一側測量

  • 只能測量透明涂膜層(取決于測量條件)

產品規(guī)格
測量厚度1 至 50 μm(用于薄材料)、10 至 150 μm(用于厚材料)    
測量長度50-5000 毫米
測量間距1 毫米 ~
最小顯示值0.001 微米
電源電壓AC100 伏 50/60 赫茲
工作溫度限制5~45℃(測量時溫度變化在1℃以內)
濕度35-80%(無冷凝)
測量區(qū)域φ0.6毫米
測量間隙約 30 毫米